Почему оборудование CMP требует передовых подшипников
Химическая механическая планаризация (кс/сс) представляет собой высокоточный процесс, обеспечивающий плоскостность поверхности ваферы при допусках нанометра. Любая вибрация, нестабильность или загрязнение оборудования кс/сс может привести к неравномерному удалению материала и потере урожайности. Для поддержания точности вращения при воздействии навозной жижи и постоянной нагрузке многие полупроводниковые oem интегрируют шары, несущие силиконовый нитрид, в гибридные подшипники в головках несущих устройств кс/с и системах привода platen.
Механическое напряжение в системах вращения кс/сс
Системы кс/сс создают комбинированное механическое и химическое напряжение:
1, непрерывное вращение при прилагаемом давлении
2, воздействие абразивной навозной жижи
3, колебательное движение головки перевозчика
4, расширенные операционные циклы
В таких условиях традиционные подшипники стали могут подвергаться коррозии и микрокоррозии. Высокая твердость и химическая стабильность нитрида кремния снижают износ и улучшают устойчивость к усталости.
Стойкость к навозной жиже и борьба с коррозией
Навозная жижа часто содержит химически активные компоненты. Элементы стального проката уязвимы к окислению и деградации поверхности во влажной среде.
Нитрид кремния предлагает:
1, сильная химическая инерция
2, минимальная коррозия под воздействием влаги
3, повышение долговечности поверхности
Это приводит к увеличению срока службы несущих узлов кс/сс.
Снижение вибрации и однородность поверхности
Планетарность поверхности зависит от плавного вращения. Керамические шары с низкой плотностью уменьшают центробежную нагрузку, сводя к минимуму вибрацию и улучшая баланс вращения.
Повышение стабильности способствует:
1. Изъятие однородных материалов
2, управление профилем края
3, повторяемая точность полировки
Сокращение загрязнения окружающей среды
Металлический мусор недопустим при полупроводниковой обработке. Шары, несущие силиконовый нитрид, генерируют меньше изношенных частиц из-за их высокой твердости и тонкой микроструктуры. Это поддерживает строгие требования к чистоте помещений и урожайности при производстве передовых узлов.
Iii. Выводы и рекомендации
В оборудовании кс/сс, где механическая точность и химическое воздействие сосуществуют, гибридные керамические подшипники обеспечивают повышенную долговечность, стабильность и контроль загрязнения. Элементы прокатки нитрида кремния повышают надежность процесса и помогают поддерживать планарность ваферов в производстве полупроводников большого объема.
