Требования автоматизации в современных Fabs
Wafer transfer robots connect process chambers в кластерных инструментах. Эти роботизированные системы должны функционировать аккуратно и непрерывно. Интеграция шаров подшипников силиконового нитрида в гибридные подшипники повышает точность и контроль загрязнения.
Совместимость с Cleanroom
Загрязнение металлическими частицами может снизить урожайность. Керамические элементы качения:
1, сопротивление износу
2, генерируйте меньше частиц
3, поддерживать гладкие поверхности во времени
Это поддерживает строгие требования чистоты комнаты.
Легкая динамика для ускорения цикла
Улучшается уменьшенная масса элементов качения:
1, серво ответ
2, ускорение
3, позиционная повторяемость
Это увеличивает пропускную способность ваферов в автоматизированных фабах.
Стойкость к коррозии и усталости
Роботизированные системы могут подвергаться незначительному воздействию химических веществ. Химическая стабильность нитрида кремния сохраняет долговременную целостность подшипника.
Долгосрочная надежность
Непрерывная круглосуточная работа требует увеличения срока службы. Гибридные керамические подшипники обеспечивают более высокую устойчивость к усталости по сравнению со всеми стальными конструкциями.
