Полупроводниковый вакуумный насос
В процессе производства интегральных схем, плоских панелей дисплея и оптоэлектронных устройств, так как полупроводниковые материалы должны быть обработаны при высоких температурах и пройти несколько осаждений пленки, вакуумный насос необходим для поддержания соответствующих лабораторных условий. Использование высокопроизводительных термостатически сжатых силиконовых нитридных керамических шариков и специально обработанных высокоточных гоночных трасс в вакуумных насосах позволяет подшипникам иметь удивительные характеристики с точки зрения высокой температуры, высокой скорости, низкой вибрации, высокого загрязнения, недостаточной смазки, высокой надежности и длительного срока службы. Подшипники вакуумного насоса на нитриде кремния могут работать непрерывно более 30 000 часов при DmN < 500 000.
En
