Пористые глиноземовые керамические отсосные стаканы

Алюминиевые керамические вакуумные свалки, как ключевые компоненты полупроводникового оборудования, имеют следующие технические характеристики и сценарии применения:

Типы продукции и технические характеристики

1.Пористые керамические вакуумные куски:Изготовлен из таких материалов, как глинозема или карбид кремния, с пористостью 30%-50% и размерами пор в диапазоне микрон, что обеспечивает равномерную силу всасывания и проницаемость. Они обладают высокой плоскостью, износостойкостью и химической устойчивостью, уменьшая царапины поверхности ваферы и загрязнение частицами.

2.Типичные области применения:Измельчение, резка, шлифование и другие процессы ваферов, подходящие для 2-12 дюймовых ваферов и нестандартных индивидуальных требований.

Сценарии применения в производстве полупроводников

1.Первичные процессы:

Литографические машины: используются в качестве мобильных компонентов платформы, работают с электростатическими отбивными для достижения точности позиционирования на нанометре.

Фрезы: используются в камерах, газораспределительных плитах и т.д., чтобы выдерживать плазменные фрезы.

2.Задняя упаковка:

Решение проблемы обращения с ультра-тонкими вафлями и предотвращение загрязнения микротрещинами в результате механического зажима.

Supports custom specifications.