En
En
Электростатический чак (ESC)
Используя диэлектрические материалы, такие как оксид алюминия, он обеспечивает неразрушающую адсорбцию через электростатическое поле, пригодное для плазменных процессов. Существуют два типа структур: тип Coulomb и тип JR. Последнее имеет более сильное адсорбционное усилие, но требует обратного напряжения для десорбции.
Advantages compared to traditional suction cups
characteristic | Ceramic suction cup | Traditional metal suction cups |
Adsorption uniformity | The microporous structure prevents local deformation. | Easily leads to wafer warping. |
Anti-static properties | Insulating materials eliminate electrostatic interference. | Additional anti-static treatment is required. |
Applicable scenarios | Ultra-thin wafers, high-precision manufacturing process | Routine handling, low-level manufacturing |
Supports custom specifications.
Если у вас есть какие-либо предложения или вопросы, пожалуйста, свяжитесь с нами.
