Основа целостности вакуума
Ультра-высокие вакуумные (UHV) системы являются фундаментальными для полупроводниковых процессов, таких как осаждение, гравюра и ионная имплантация. Турбомолекулярные насосы и сухие вакуумные насосы должны работать на экстремальных скоростях, не загрязняя окружающую среду. Шары, несущие силиконовый нитрид, все чаще указываются в гибридных керамических подшипниках полупроводниковых вакуумных насосов для повышения производительности в этих сложных условиях.
Высокоскоростные работы в вакууме
Турбонасосы обычно работают более 50 000 об/мин. На этих скоростях:
1, центробежные силы увеличиваются экспоненциально
2, производство тепла становится критически важным
3, механическая усталость ускоряется
Низкая плотность нитрида кремния снижает центробежный стресс, снижая нагрузку на гоночную дорожку и повышая стабильность вращения. Это непосредственно увеличивает усталость жизни в непрерывной работе fab.
Сокращение объема образования твердых частиц
Вакуумные камеры выдерживают минимальное загрязнение. Керамические элементы качения обеспечивают:
1, более высокая твердость, чем несущая сталь
2, более низкие нормы износа
3, уменьшенный микро-набор
Это минимизирует высвобождение частиц внутри вакуумных модулей.
Преимущество электрической изоляции
Вакуумные насосы, управляемые двигателем, подвержены шальным электрическим токам. Шары нитрида кремния прерывают электрические пути, предотвращая повреждение потока и продлевая срок службы подшипников.
Воздействие на жизненный цикл полупроводниковых фабрик
При больших объемах fabs время простоя насоса напрямую влияет на производительность. Улучшаются гибридные керамические подшипники:
1, среднее время между неисправностями (MTBF)
2, интервалы технического обслуживания
3. Согласованность оперативной деятельности
По мере ужесточения вакуумных стандартов в передовых узлах интеграция керамических подшипников становится стандартной практикой.
