Требования к производительности вакуумной технологии
Турбомолекулярные насосы работают на чрезвычайно высокой скорости вращения в вакуумных камерах, используемых в научных и полупроводниковых целях. Холостые шары силиконового нитрида обеспечивают наличие керамических элементов качения, которые поддерживают структурную целостность в вакуумных и высокоскоростных условиях.
Стабильность в условиях низкого давления
Нитрид кремния не выделяет газ и не разъедает вакуумные системы, сохраняя чистоту камеры.
Высокая механическая прочность
Низкая плотность снижает центробежный стресс при сверхвысоких уровнях об. / мин.
Стойкость к термическому удару
Циклы запуска и остановки насоса приводят к быстрым тепловым изменениям. Однородная пустая микроструктура повышает устойчивость к трещинам.
Iii. Выводы и рекомендации
Холостые шары силиконового нитрида необходимы для подшипников турбонаддува с высоким вакуумом, где решающее значение имеют скорость, чистота и долговечность.
